INFICON压电组合真空计PPG570
Description
新型INFICON Pirani 压电组合真空计 (PPG570) 基于现有最先进的 MEMS（微机电系统）传感器技术，该技术也用于我们的 PPG550 "ATM 至中真空 "真空计。
PPG570与PPG550的不同之处在于，它额外安装了ATM传感器，使PPG570可以用于传统的负载锁定应用。例如，在半导体行业或任何其他真空应用中，相对于大气环境压力的精确压力测量非常重要。
在MEMS工艺中微型化的Pirani/Piezo组合技术能够建造一个非常小的传感器，从而节省空间，这使得测量设备的整体高度非常小成为可能。
除了高度低的优势外，基于MEMS技术的皮拉尼还具有在高压范围内比传统皮拉尼测量更深、更准确的优势。与安装在同一法兰上的MEMS压电传感器相结合，皮拉尼真空计成为一个真正的宽范围真空计，其测量范围远远超过通常的1000mbar，也可延伸到大气层。同时，MEMS压电传感器提供独立于气体类型的压力测量，范围为2 ...1333毫巴。上述技术的另一个优点是增加了对加速力和振动的抵抗力。
最后但并非最不重要的是，新的INFICON PPG570可以用来直接取代所谓的MKS Instruments MKS901P "MicroPirani™和压电负载锁真空压力传感器"。PPG570提供相同的连接器/引脚分配、模拟输出和RS232/485数字通信协议兼容性。
好处
2mbar以上的气体类型独立--允许任何气体混合物的安全排放
大气层的高精度和重现性--用于可靠、快速的大气层压力检测
大气层环境压力测量 多
达3个固态继电器
安装方向的多样性--为工具设计提供工程自由度
可选择的模拟输出信号，便于系统集成
数字接口RS232/RS485
能够直接滴入替代MKS901P "MicroPirani™-和压电式负载锁真空压力传感器"。
合规性和标准。CE, EN, UL, CSA, RoHS
典型应用
半导体负载锁应用
在分析设备/质量分光计
中使用
物理气相沉积
物理气相沉积
