电容式隔膜真空计BCG450

INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 (Triple-Gauge™) BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中，可以测量从 5×10-10 至 1500 mbar（3.75×10-10 至 1125 Torr）的过程压力和基本压。BCG450 的设计旨在替代三个传感器（热电离、加强对流 Prani 和真空开关），因而节省了成本和宝贵的工具空间。 好处 BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量仪器的安装与设置的复杂性 压力超过 10 Torr 时压力测量不受气体类型限制，可以为任何气体混合物提供更为可靠的预抽真空室控制 皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预 大气气压下压差测量消除了大气压力变化引起的不确定性 传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证再现性 备有可选的图形显示器和现场总线接口 符合 RoHS 标准 典型应用 对半导体过程和预抽真空室的压力测量 工业镀膜 在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制