高速电容式隔膜真空计CDG045Dhs
Description
INFICON Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是最快速、高度准确的真空测量仪器。响应时间不到 2 ms，配备 EtherCAT 现场总线接口，开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有无与伦比的零位稳定性。Stripe 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe 使用创新的加热概念，提供冰凉的接触表面和独特的速度性能, 可实现提升史无前例的生产力, 使其成为同类产品中最先进的真空仪器.
Stripe CDG045Dhs 赢得了 2014 研发 100 大奖！！
好处
高生产力 - 响应时间快于 2 ms (FS > 50 mTorr)
灵活集成 - EtherCAT 现场总线
使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
忘记重新校准 - 90ppm/年全方位稳定性
典型应用
原子层沉积
高速过程控制
PVD、CVD、蚀刻
一般高温真空应用
