CDG025D电容式隔膜真空计
Description
INFICON SKY CDG025D 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计，可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。高级数字电子元件可提高仪表性能, 且易操作, 例如一键归零功能和设定点调整。防腐蚀陶瓷传感器具的零点稳定性出色，预计寿命可达到数百万个加压循环，包括突发大气压。独有的传感器屏蔽（专利申请中）可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。CDG025D 为开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能树立了新的标准。
好处
从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
电源接通后快速稳定
暴露于大气压后快速恢复
防腐蚀陶瓷传感器
卓越的长期信号稳定性
温度补偿
传感器受防污染保护
一键调零功能
宽范围电源
典型应用
用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备
数据存储和显示器制造设备
工业真空设备
经济、高度精确的压力测量
规格
