LEYSPEC ultra 200S产品号 220020V01
Description
LEYSPEC ultra 200S产品号
220020V01
探测器:
电子倍增器(EM)/ 法拉第杯(FC)
接口法兰:
DN 40 CF
操作温度:
10 - 40 °C
最大探测温度:
250 °C
最大操作压力:
1 x 10-4 mbar
最小可检测分压:
1 x 10-11 mbar
灵敏度:
400/2.5 x 10-4 A/mbar
质量范围 (amu):
1-200
质量过滤器:
四极质谱仪(QMS)
LEYSPEC ultra 200S
LEYSPEC 系列产品配置了一个板载控制和显示单元。不需要连接计算机就可以进行简单的残余气体分析。
RGA 残余气体分析仪界面直观,操作简便。只需要按一个键,就可以显示多种关键气体分压。如果工艺气体中含有另一种额外的气体,可以把它分配到备用显示通道。由于支持更高的烘烤温度,LEYSPEC 可以满足高真空和超高真空苛刻的应用要求。
LEYSPEC残余气体分析仪提供了极高的灵敏度和直观的操作软件,可以支持几乎所有的基础或复杂的测试要求。
LEYSPEC 精准测量设备
直观的操作软件
完整提供直观、智能的 LEYSPEC 操作软件。简单易用的用户界面支持多种具体操作,从简单应用到复杂分析。就像菜谱一样方便、快捷。在操作过程中始终显示全压强,可以根据分析的要求选择合适的视图,还可以在趋势和模式两种扫描模式之间进行选择。
高灵敏度
LEYSPEC 系列产品为大部分残余气体分析应用提供了极高的灵敏度。这有助于检测出工艺气体中污染物留下的极小的痕迹。
高温度烘烤
LEYSPEC ultra 最高烘烤温度为 300℃,非常完美的适合复杂的高真空以及超高真空的应用,即使在极度苛刻的环境中,也可以提供稳定的分析表现。
进阶功能
很多额外的功能和测试程序被预先安装在软件中,例如氦气检漏或者可设定备选气体的报警和错误标准。在开始或破空后,可以执行设定好的简便除气功能进行除气。背景抑制功能有助于关注重点的峰值。