反应性气体分析仪QuleeRGM2series

反应性气体分析仪 Qulee RGM2 series
适用于蚀刻设备、CVD设备的工艺管理（品质管理、提高成品率）和终点监测
接口：Ethernet对应
在反应性气体和腐蚀性气体环境下可长时间稳定测量
带磁铁的封闭型离子源：软离子化抑制气体分裂
充实预防保全功能：离子源、二次电子增倍器的预防保全、分析管的可追溯功能
适用设备：蚀刻设备、CVD设备的工艺监测、残余气体分析、检漏等