小型气体分析仪Qulee CGM2Qulee CGM2-051_101
Description
小型气体分析仪Qulee CGM2Qulee CGM2-051_101
适用于溅射设备的工艺管理（品质管理、提高成品率）。
接口：Ethernet对应
溅射工艺监测时无需差动排气系统（1Pa以下即可测量）
显示器一体型设计：无PC也可测量、One Click功能操作简单、DEGAS功能
充实预防保全功能：离子源、二次电子增倍器的预防保全、分析管的可追溯功能
适用设备：溅射设备专用仪器
CGM2-052 CGM2-101 CGM2-051 CGM2-102
