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UL3000 Fab Series

专门为半导体应用中的检漏需求而设计。

它具有灵活性、移动性、快速启动、高灵敏度、快速和精确的测试结果以及可靠性。

Description
Parameter

专门为半导体应用中的检漏需求而设计。

它具有灵活性、移动性、快速启动、高灵敏度、快速和精确的测试结果以及可靠性。

由于更高的空气泵送速度，更快的泵降（排空）时间。
由于低维护的根部粗加工泵，总拥有成本（TCO）更低。
由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景，更早地开始检漏，使得快速达到敏感测量范围成为可能
UL3000 Fab ULTRA还通过使用成熟的吸污管线SL3000提供了改进的吸污能力，该吸污管线长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口，因此不需要连接到真空入口。

快速的结果
改进后的真空系统带有低维护的真空泵，可以从大气压开始检测泄漏。坚固的质谱仪系统确保了长时间的运行和低维护成本。

可旋转的显示器和可远程控制的用户接口
新的触摸屏显示，即使在远距离也能显示测试结果和状态信息。通过用户指导的菜单结构，即使是没有经验的操作员也能轻松操作。通过智能手机或平板电脑可以对UL3000 Fab（ULTRA）进行无线控制--无需特殊软件或Apps。通过按钮记录和存储测试结果，可以传输到其他存储介质，以便进一步分析。

纤细的设计，先进的可操作性
低重心、大轮子、符合人体工程学设计的手柄和纤细的外壳使UL3000 Fab (ULTRA)即使在狭小的空间也有良好的移动性。

优势
采用I-CAL软件算法，在10-9至10-12mbar-l/s范围内快速测量，节省时间
使用I-ZERO 2.0进行最有效的检漏，其改进的智能功能可在保持高测量灵敏度的同时进行快速背景抑制
适用于真空和嗅探检漏
通过快速排空和响应时间，最大限度地减少检漏工作
纤细的设计，易于操作，节省时间
坚固的离子源（3年保修）和逆流真空系统使总拥有成本（TCO）较低
逆流式真空系统
易于使用，由操作员指导的人机界面，带有全彩高分辨率可旋转显示器
UL3000 Fab ULTRA：由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景，使其有可能迅速达到敏感的测量范围，从而更早开始检漏。
UL3000 Fab ULTRA: 由于更高的空气泵送速度，更快的泵降（排空）时间
根部泵的速度更快
UL3000 Fab ULTRA: 由于根部泵的低维护率，总拥有成本（TCO）更低。粗加工泵。
UL3000 Fab ULTRA：通过使用久经考验的吸污管线SL3000，该检漏仪还提供了改进的吸污能力，其长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口，因此不需要连接到真空入口。
典型应用
半导体工厂
平板显示器制造
太阳能电池的制造
玻璃和卷材（卷对卷）镀膜
一般真空镀膜和应用

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