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电容式隔膜真空计BCG450

INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 (Triple-Gauge™) BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中，可以测量从 5×10-10 至 1500 mbar（3.75×10-10 至 1125 Torr）的过程压力和基本压。BCG450 的设计旨在替代三个传感器（热电离、加强对流 Prani 和真空开关），因而节省了成本和宝贵的工具空间。

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INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 (Triple-Gauge™) BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中，可以测量从 5×10-10 至 1500 mbar（3.75×10-10 至 1125 Torr）的过程压力和基本压。BCG450 的设计旨在替代三个传感器（热电离、加强对流 Prani 和真空开关），因而节省了成本和宝贵的工具空间。好处 BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量仪器的安装与设置的复杂性压力超过 10 Torr 时压力测量不受气体类型限制，可以为任何气体混合物提供更为可靠的预抽真空室控制皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预大气气压下压差测量消除了大气压力变化引起的不确定性传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证再现性备有可选的图形显示器和现场总线接口符合 RoHS 标准典型应用对半导体过程和预抽真空室的压力测量工业镀膜在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制

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