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INFICON Pirani标准真空计PSG50x

INFICON Pirani 标准真空计 PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S 采用当今市场上最先进的数字 Pirani 技术，不锈钢传感器单元坚固耐用，结构设计紧凑，适用于半导体系统和标准应用，例如前级真空管。

Description
Parameter

INFICON Pirani 标准真空计 PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S 采用当今市场上最先进的数字 Pirani 技术，不锈钢传感器单元坚固耐用，结构设计紧凑，适用于半导体系统和标准应用，例如前级真空管。

好处
轻松一键调节 ATM 和 HV
节省空间的坚固设计
铝质壳体
可安装在任何方向
不锈钢测量单元，带金属密封馈入装置
对数信号输出，易于集成
螺纹接头，具有 10 bar 绝对过压能力
250°C 可烘烤装置
镍丝选件，适用于腐蚀性应用
陶瓷馈入装置，适用于腐蚀性极强的应用（PSG510 和 PSG512)
可选设定点
符合 RoHS 标准
典型应用
高真空电离真空计控制
前级真空压力监控
真空系统中的安全电路
高真空和低真空范围内的一般真空测量和控制
规格
PSG500 tungsten
PSG500-S tungsten, setpoints
PSG502-S nickel, setpoints
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
Measurement range V +1.9 … +10.0
Accuracy(N2)
1 x 10-3 … 100 mbar % of reading ±15%
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar % of reading ±50%
100 … 1000 mbar % of reading ±50%
Repeatability (air)
1 x 10-3 … 100 mbar % of reading 2%
Admissible temperature
Operation °C +5 … +60
Vacuum connection (1) °C 80 / 250 (2)
Storage °C -20 … +65
Supply voltage
At gauge V (dc) +14 …+30
Ripple V (p-p) ≤1
Power consumption W ≤1
Setpoint
Number of setpoints Number of setpoints none
Setting range mbar ‒
Hysteresis % of reading ‒
Relay contact ‒
Relay contact: Switching time ms ‒
Materials exposed to vacuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435

Part Number
Accessories
Spare Parts
PSG500 tungsten
350-060 PSG500 DN 16 ISO-KF.
350-061 PSG500 1/8" NPT
350-062 PSG500 DN 16 CF-R
350-063 PSG500 1/2" Tube
350-064 PSG500 8-VCR (1/2")
350-065 PSG500 4-VCR (1/4")
350-066 PSG500 7/16-20 UNF
350-067 PSG500 DN 16 ISO-KF, ext. body
350-068 PSG500 DN 16 CF-R, ext. body

PSG500-S tungsten, setpoints
350-080 PSG500-S DN 16 ISO-KF
350-081 PSG500-S 1/8" NPT
350-082 PSG500-S DN 16 CF-R
350-083 PSG500-S 1/2" Tube
350-084 PSG500-S 8-VCR (1/2")
350-085 PSG500-S 4-VCR (1/4")
350-086 PSG500-S 7/16-20 UNF
350-087 PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-088 PSG500-S DN 16 CF-R, ext. body

PSG502-S nickel, setpoints
350-140 PSG502-S DN 16 ISO-KF
350-141 PSG502-S 1/8" NPT
350-142 PSG502-S DN 16 CF-R
350-143 PSG502-S 1/2" Tube
350-144 PSG502-S 8-VCR (1/2")
350-145 PSG502-S 4-VCR (1/4")
350-146 PSG502-S 7/16-20 UNF
350-147 PSG502-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-148 PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body

PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
350-200 PSG510-S DN 16 ISO-KF

PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
350-300 PSG512-S DN 16 ISO-KF

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