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inficon真空计

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高速电容式隔膜真空计CDG100Dhs

INFICON Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是最快速、高度准确的真空测量仪器。响应时间不到 2 ms,配备 EtherCAT 现场总线接口,开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无与伦比的零位稳定性。Stripe 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe 使用创新的加热概念,提供冰凉的接触表面和独特的速度性能, 可实现提升史无前例的生产力, 使其成为同类产品中最先进的真空仪器。
  • Description
  • Parameter
  • INFICON Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是最快速、高度准确的真空测量仪器。响应时间不到 2 ms,配备 EtherCAT 现场总线接口,开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无与伦比的零位稳定性。Stripe 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe 使用创新的加热概念,提供冰凉的接触表面和独特的速度性能, 可实现提升史无前例的生产力, 使其成为同类产品中最先进的真空仪器。

    好处
    高生产力 - 响应时间快于 2 ms
    灵活集成 - EtherCAT 现场总线
    使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
    忘记重新校准 - 90ppm/年全方位稳定性

    典型应用
    原子层沉积
    高速过程控制
    PVD、CVD、蚀刻
    一般高温真空应用