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LEYSPEC ultra 200S产品号 220020V01

适用应用
适用于所有残余气体分析范围
对于复杂的参与气体分析有更高的灵敏度
可靠的探测极小的分压
适合更高的烘烤温度

Description
Parameter

LEYSPEC ultra 200S产品号 220020V01
探测器: 电子倍增器(EM)/ 法拉第杯(FC)
接口法兰: DN 40 CF
操作温度: 10 - 40 °C
最大探测温度: 250 °C
最大操作压力: 1 x 10-4 mbar
最小可检测分压: 1 x 10-11 mbar
灵敏度: 400/2.5 x 10-4 A/mbar
质量范围 (amu): 1-200
质量过滤器: 四极质谱仪(QMS)
LEYSPEC ultra 200S
LEYSPEC 系列产品配置了一个板载控制和显示单元。不需要连接计算机就可以进行简单的残余气体分析。

RGA 残余气体分析仪界面直观，操作简便。只需要按一个键，就可以显示多种关键气体分压。如果工艺气体中含有另一种额外的气体，可以把它分配到备用显示通道。由于支持更高的烘烤温度，LEYSPEC 可以满足高真空和超高真空苛刻的应用要求。

LEYSPEC残余气体分析仪提供了极高的灵敏度和直观的操作软件，可以支持几乎所有的基础或复杂的测试要求。

LEYSPEC 精准测量设备
直观的操作软件
完整提供直观、智能的 LEYSPEC 操作软件。简单易用的用户界面支持多种具体操作，从简单应用到复杂分析。就像菜谱一样方便、快捷。在操作过程中始终显示全压强，可以根据分析的要求选择合适的视图，还可以在趋势和模式两种扫描模式之间进行选择。

高灵敏度
LEYSPEC 系列产品为大部分残余气体分析应用提供了极高的灵敏度。这有助于检测出工艺气体中污染物留下的极小的痕迹。

高温度烘烤
LEYSPEC ultra 最高烘烤温度为 300℃，非常完美的适合复杂的高真空以及超高真空的应用，即使在极度苛刻的环境中，也可以提供稳定的分析表现。

进阶功能
很多额外的功能和测试程序被预先安装在软件中，例如氦气检漏或者可设定备选气体的报警和错误标准。在开始或破空后，可以执行设定好的简便除气功能进行除气。背景抑制功能有助于关注重点的峰值。

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