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传感器单体型真空计合电离真空计G-TRAN

世界第一个三极管金属电离真空计（专利号 5827532）、即便将真空计
置于对其来说严酷的环境，也能最大限度利用三极管的优势实现较长使用
• ST200-A/ST200-R
年限
• 提高测量精度：实现测量精度为±10%、大幅提高灵敏度的稳定性
• 真空炉/有机EL・触摸屏制造设备的到达压力确认，烃、清洗液较多环境
的测量，测定子更换频率高的设备等

Description
Parameter

传感器单体型真空计合电离真空计 G-TRAN series
• 世界第一个三极管金属电离真空计（专利号 5827532）、即便将真空计
置于对其来说严酷的环境，也能最大限度利用三极管的优势实现较长使用
• ST200-A/ST200-R
年限
• 提高测量精度：实现测量精度为±10%、大幅提高灵敏度的稳定性
• 真空炉/有机EL・触摸屏制造设备的到达压力确认，烃、清洗液较多环境
的测量，测定子更换频率高的设备等
• SH200-A/SH200-R
• 可测量超高真空~高真空
• 适用设备：FPD/SEMI・以电子部件为首的溅射设备/蒸镀设备的到达压力
确认，超高真空设备的压力监测等
• ST200/SH200共通
• 皮拉尼真空计组合可和大气压传感器联动
• 大幅小型化，世界最小等级
• 连接电脑/智能手机设置设定点，确认状态等都很便捷
• 通过灯丝的电力监测，可提示灯丝寿命
SH200-R SH200-A ST200-R ST200-A 型号
5×10-8~1×10+1Pa 1×10-5~1×10+1Pa 测量压力范围
±15% ±10%：1×10-4~3×10+0Pa 测量精度
2根（Ir/Y2O3） 1根（Ir/Y2O3）灯丝
电子冲击脱离方式 DEGAS
LOG输出（DC 0-10V）测量值输出
无 3点（集电极开路输出）无 3点（集电极开路输出）设定点
RS232C/RS485 无 RS232C/RS485 无串行通讯
DC 20-28V 电源电压
69×63×125 mm（ST200/SWT-16）外观尺寸
皮拉尼真空计 SWU10-R（选配）、压力传感器组合SAU（选配）可连接传感器
M-44（NW16）、M-45（NW25）、M-46（ICF070） SWT-16（NW16）, SWT-25（NW25）适用测定子
CE 符合标准
可连接不同测量范围的测定子的传感器单体型真空计。可大幅降低运行成本。
G-TRAN ST200 G-TRAN SH200 ST200/SH200 SWU10-R
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组合使用例
ST200
电脑/智能手机连接图
＊可与不同测量范围的测定子连接。可与皮拉尼真空计SWU10-R、压力传感器SAU联动，低真空～大气压范围可测量。
＜市面上的B-A型热阴极电离真空计＞
使用不久就会因灵敏度降低导致测量异常，
不可继续使用。
＜市面上的冷阴极电离真空计＞
一开始测量值就有些微偏移，后续偏移幅度
增大，继续使用困难。

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