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传感器单体型真空计G-TRAN series SW1/SP1

可测量低真空～中真空领域，利用气体热传导来进行压力测量的恒温型皮拉尼真空计。
SW1-1/SW1-2
• 可以测量广泛的压力范围：大气压～5×10-2Pa可测
• 耐冲击性提升：结构设计抗冲击，抗振动（申请专利中）
• 适用设备：溅射设备、真空贴合设备、各种排气移动台车、直接承受真空泵振动的制造设备、其他预抽测量等

Description
Parameter

可测量低真空～中真空领域，利用气体热传导来进行压力测量的恒温型皮拉尼真空计。
SW1-1/SW1-2
• 可以测量广泛的压力范围：大气压～5×10-2Pa可测
• 耐冲击性提升：结构设计抗冲击，抗振动（申请专利中）
• 适用设备：溅射设备、真空贴合设备、各种排气移动台车、直接承受真空泵振动的制造设备、其他预抽测量等
• SP1
• 采用实绩丰富的WP系列测定子：测定子可互换
• 适用设备：各种真空制造设备的互锁与顺序控制、其他预抽测量等

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