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隔膜真空计 G-TRAN series CCMT

陶瓷隔膜根据气体变化发生变形，根据随之发生变化的静电容量检测压力的真空计。
采用陶瓷（铝）隔膜：耐腐性强，长时间稳定
可以测量绝对压力：不受气体种类影响可进行全压测量
  • Description
  • Parameter
  • 隔膜真空计 G-TRAN series CCMT
    陶瓷隔膜根据气体变化发生变形，根据随之发生变化的静电容量检测压力的真空计。
    • 采用陶瓷（铝）隔膜：耐腐性强，长时间稳定
    • 可以测量绝对压力：不受气体种类影响可进行全压测量
    • 温度补偿：内置温度补偿回路
    • 保护功能：保护传感器不受飞行物污染结构
    • 暖机时间缩短：大幅缩短从接入电源到稳定的时间
    • 适用设备：溅射设备/蒸镀设备的镀膜工艺管理，太阳电池等各种制造设备压力监测等

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