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爱发科产品ULVAC

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反应性气体分析仪QuleeRGM2series

反应性气体分析仪 Qulee RGM2 series
适用于蚀刻设备、CVD设备的工艺管理(品质管理、提高成品率)和终点监测
  • Description
  • Parameter
  • 反应性气体分析仪 Qulee RGM2 series
    适用于蚀刻设备、CVD设备的工艺管理(品质管理、提高成品率)和终点监测
    接口:Ethernet对应
    在反应性气体和腐蚀性气体环境下可长时间稳定测量
    带磁铁的封闭型离子源:软离子化抑制气体分裂
    充实预防保全功能:离子源、二次电子增倍器的预防保全、分析管的可追溯功能
    适用设备:蚀刻设备、CVD设备的工艺监测、残余气体分析、检漏等