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爱发科产品ULVAC

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小型气体分析仪Qulee CGM2Qulee CGM2-051_101

充实预防保全功能：离子源、二次电子增倍器的预防保全、分析管的可追溯功能
适用设备：溅射设备专用仪器
CGM2-052 CGM2-101 CGM2-051 CGM2-102
  • Description
  • Parameter
  • 小型气体分析仪Qulee CGM2Qulee CGM2-051_101
    适用于溅射设备的工艺管理（品质管理、提高成品率）。
    接口：Ethernet对应
    溅射工艺监测时无需差动排气系统（1Pa以下即可测量）
    显示器一体型设计：无PC也可测量、One Click功能操作简单、DEGAS功能
    充实预防保全功能：离子源、二次电子增倍器的预防保全、分析管的可追溯功能
    适用设备：溅射设备专用仪器
    CGM2-052 CGM2-101 CGM2-051 CGM2-102

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