隔膜真空计 G-TRAN series CCMT
Description
隔膜真空计 G-TRAN series CCMT
陶瓷隔膜根据气体变化发生变形,根据随之发生变化的静电容量检测压力的真空计。
• 采用陶瓷(铝)隔膜:耐腐性强,长时间稳定
• 可以测量绝对压力:不受气体种类影响可进行全压测量
• 温度补偿:内置温度补偿回路
• 保护功能:保护传感器不受飞行物污染结构
• 暖机时间缩短:大幅缩短从接入电源到稳定的时间
• 适用设备:溅射设备/蒸镀设备的镀膜工艺管理,太阳电池等各种制造设备压力监测等