传感器单体型真空计G-TRAN series SAU
Description
传感器单体型真空计G-TRAN series SAU
使用半导体薄膜元件,大气压附近压力(表压:-100kPa ~10kPa)可精确测量
• 最适合大气压确认:表压确认压力数值,可精准测量大气压
• 可对应高真空连续使用:使用半导体薄膜元件,可对应高真空下的连续使用(SUS316L)
• 测量值输出:标配DC 0-5V线性输出
• 驱动电源:对应DC 12-24V
• 适用设备:FPD・SEMI・以电子部件为首的各种镀膜设备的大气压确认,表压测量